Spectroscopic Holographic Diffraction Grating
衍射光栅是衍射光谱器件中的色散元件。它是一种金属或透明材料的光学表面，是以某种方式沉积的一种或另一种沟槽，在相干光束上分割入射光波的前沿，并改变其振幅和相位。这些相干光束的干涉决定了所产生的辐射能量在空间中的分布和光栅的光谱特性。较近，在光谱设备中仅使用刻划衍射光栅，其凹槽在具有金刚石刀具的特殊机器的帮助下切割。这些光栅是以相等距离间隔的平行凹槽；横截面的形状由金刚石刀具的切削刃轮廓决定。凹槽的形式可能不同，但光栅元件——凹槽——以严格相等的间隔重复，称为光栅周期。较近，通过在光刻胶中形成激光辐射的干涉图案，开发了一种新的衍射光栅制造技术。这些被称为全息衍射光栅。如果光栅沉积在一个平面上，这样的光栅被称为平面。如果凹槽显示为凹球面，则这种凹面光栅。它们具有聚焦效应。在现代光谱设备中，平面衍射光栅和凹面衍射光栅都有使用，JSC在制造全息衍射光栅时使用了自己开发的独特的无机光刻胶。该光致抗蚀剂具有低的光散射水平和高的分辨率。基于使用这种光致抗蚀剂的技术允许产生具有各种形状和表面曲率的准正弦槽轮廓全息衍射光栅（其中一个轮廓在下图中）。目前，全息光栅正开展利用离子刻蚀技术获得预定三角形槽形和矩形槽形全息衍射光栅的研究。
