Brewer Science E2Stack AL412 EUV Assist Layer Material

美国分类:设计与制造厂商:Brewer Science Inc

EUV光刻机面临的较大问题是解决RLS权衡:同时提高分辨率、线宽粗糙度(LWR)和光敏性。AL412旋涂辅助层材料已经显示出降低线边缘粗糙度(LER)和图案塌陷、平坦化形貌、保护下面的层免受高能EUV光子损伤、改善粘附性以及改善图案转移蚀刻选择性。

更新时间:2024-08-23 10:05:48

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